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隨著現(xiàn)代化和城市化進(jìn)程的日益加深，人們在室內(nèi)的時(shí)間越來越多，因而對室內(nèi)空氣品質(zhì)的要求也日益提高。 室內(nèi)空氣品質(zhì)取決于很多方面，包括溫濕度、二氧化碳、揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度等。而用于調(diào)節(jié)和改善室內(nèi)空氣品質(zhì)的有效方式之一就是示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)。